適応型干渉縞解析による微小形状計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIS09001

グループ名: 【D】産業応用部門　産業システム情報化研究会

発行日: 2009/02/20

タイトル(英語): Adaptive Analysis Method of Interference Fringes for Nano-level 3-D shape Measurement

著者名: 兼田 昌伸(香川大学),林 純一郎(香川大学),秦 清治(香川大学),石丸 伊知郎(香川大学),森本 茂明(隆祥産業),武田 勝(隆祥産業),岩本 昌克(隆祥産業),小林 宏明(香川県産業技術センター)

著者名(英語): Masanobu Kaneda(Kagawa University),Jun-ichiro Hayashi(Kagawa University),Seiji Hata(Kagawa University),Ichiro Ishimaru(Kagawa University),Shigeaki Morimoto(Ryusyo Ind.Co.Ltd.),Masaru Takeda(Ryusyo Ind.Co.Ltd.),Masakatsu Iwamoto(Ryusyo Ind.Co.Ltd.),Hiroaki Kobayashi(Kagawa Prefecture Industrial Technology Center)

キーワード: 干渉縞|適応型干渉縞解析|組み合わせコードテーブル|Interference fringes|Adaptive analysis method of interference fringes|Code-table

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,281 Kバイト