位置検出における位相重畳信号生成技術の基礎検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IM10043

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 計測研究会

発行日: 2010/07/16

タイトル(英語): Basic examination of phase modulation signal generation technology in position tracking

著者名: 武舎 武史(三菱電機),河野 裕之(三菱電機),仲嶋 一(三菱電機),野口 琢也(三菱電機)

著者名(英語): Takeshi Musha(Mitsubishi Electric Corp.),Hiroyuki Kawano(Mitsubishi Electric Corp.),Hajime Nakajima(Mitsubishi Electric Corp.),Takuya Noguchi(Mitsubishi Electric Corp.)

キーワード: 位置計測|光学計測|変位計測

要約(日本語): 我々は位置検出の分野における位置検出精度向上のための技術検討を行っている。今回はその中である一定周期でスリットが刻まれたスケールを用いた位置検出技術に着目し、スリットに刻む周期を一定間隔から少しずつシフトさせる事により1つの信号検出トラックから2つの周波数の信号を取り出す位相重畳信号生成技術を開発したので、その検出原理および原理検証実験を行った結果について報告する。

要約(英語): We are doing a technological examination for improving the positional detection accuracy in the position tracking. We have focused the positional detection technology that used the scale for which the slit was carved at a certain constant period this time, and have developed the phase modulation signal generation technology that took out the signal of two frequencies of one-signal detection track by shifting the cycle carved for the slit at constant intervals. We report on the detection principle and the result of doing the principle verification experiment.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 656 Kバイト