フィードバック制御を用いたMEMS 三次元センサーの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IM12031

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 計測研究会

発行日: 2012/07/27

タイトル(英語): Development of 3-D Sensor with Feedback Control of MEMS Mirror Scanner

著者名: 野口 琢也(三菱電機),橋本 充夫(三菱電機),白附 晶英(三菱電機),奥田 晴久(三菱電機),仲嶋 一(三菱電機),鹿井 正博(三菱電機)

著者名(英語): Noguchi Takuya(Mitsubishi Electric Corporation),Hashimoto Mitsuo(Mitsubishi Electric Corporation),Shiratsuki Akihide(Mitsubishi Electric Corporation),Okuda Haruhisa(Mitsubishi Electric Corporation),Nakajima Hajime(Mitsubishi Electric Corporation),Shikai Masahiro(Mitsubishi Electric Corporation)

キーワード: ３次元センサ|フィードバック|セル生産|ミラー|安定化|ロボット|3-D sensor|Feed back|Cell manufacturing|Mirror|Stabilization|Robot

要約(日本語): 柔軟性の高いセル生産方式の実現に向けて，コンパクトなロボットにも搭載可能な小型３次元センサを開発した．従来ヘッドサイズの大型化の要因であったスキャンミラーにMEMSミラーを採用し，さらにフィードバック制御系でミラーの安定性を確保することで精度を維持したまま３次元センサの小型化が可能となり，産業用ロボットへの適用に有効であることを確認した．

要約(英語): For realization of flexible cell manufacturing system, we developed compact 3-D sensor capable of compact robot. It was adopted MEMS mirror for the purpose of compact head size; moreover it was possible to ensure accuracy with use of feed back control. And we confirmed availability of application to industrial robot.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 830 Kバイト