電磁波パルスの反射を用いた誘電体層の屈折率・膜厚測定における表面粗さの影響評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IM13018

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 計測研究会

発行日: 2013/03/08

タイトル(英語): Evaluation of effect of surface roughness on measurement of refractive index and thickness of dielectric layer using reflection of electromagnetic wave pulse

著者名: 福地 哲生(電力中央研究所),布施 則一(電力中央研究所),水野 麻弥(情報通信研究機構),福永 香(情報通信研究機構)

著者名(英語): Fukuchi Tetsuo(Central Research Institute of Electric Power Industry),Fuse Norikazu(Central Research Institute of Electric Power Industry),Mizuno Maya(National Institute of Information and Communications Technology),Fukunaga Kaori(National Institute of Information and Communications Technology)

キーワード: 電磁波パルス|テラヘルツ波|誘電体|膜厚測定|屈折率|遮熱コーティング|electromagnetic pulse|terahertz wave|dielectric material|thickness measurement|refractive index|thermal barrier coating

要約(日本語): 電磁波パルスの反射を用いて金属面に施工された誘電体層の屈折率と膜厚を測定できる。誘電体層の表面粗さは散乱損失の原因となり，測定結果に影響を及ぼす。金属基板上にプラズマ溶射されたセラミック層の膜厚を測定した結果，表面粗さを考慮することによって膜厚値は顕微鏡観察による実測値により近い値となった。

要約(英語): The surface roughness of the dielectric layer affects the values of refractive index and thickness measured by reflection of electromagnetic waves because of scattering loss. When the effect of the surface roughness was considered, the obtained thickness of a ceramic layer was in better agreement with the actual thickness obtained by microscope observation.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 610 Kバイト