複素インピーダンスを用いた低濃度酸化性ガスセンサに対する一検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IM16027

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 計測研究会

発行日: 2016/06/24

タイトル(英語): A Study on Oxidizing Gas Sensor with Low Concentration Using Complex Impedance

著者名: 堀口 拓(日本大学),佐々木 芳樹(日本大学),佐伯 勝敏(日本大学)

著者名(英語): Taku Horiguchi(Graduate School of Science and Technology, Nihon University),Yoshiki Sasaki(College of Science and Technology, Nihon University),Katsutoshi Saeki(College of Science and Technology, Nihon University)

キーワード: ガスセンサ|Ｓｉ基板|銅フタロシアニン|複素インピーダンス|ＳＯ２|ＮＯ２|Gas Sensor|Si Substrate|Copper-Phthalocyanine|Complex Impedance|SO2|NO2

要約(日本語): 現在，ガスセンサは一種類の気体検出に特化されており，NO2とSO2はともに酸化性であるため，感応膜の電子を気体分子が捕獲する原理のガスセンサでは気体の判別が困難である．本稿では，Si基板上の櫛形電極に，銅フタロシアニンを蒸着したガスセンサの複素インピーダンスを用いて，低濃度におけるNO2およびSO2の気体判別を行った．その結果，複素インピーダンスの変化パターンの違いから気体判別が可能であることを明らかにしている．

要約(英語): We propose a new sensor that is able to distinguish between the low concentrations of NO2 and SO2 gas, using complex impedance on the Si substrates with copper-phthalocyanine. As a result, it is shown that the proposed sensor is possible discrimination of the gas using variable pattern of the complex impedance.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,039 Kバイト