白色干渉の振幅情報と位相情報に基づく 極めて薄い透明電極ITO膜厚の計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IM17028

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 計測研究会

発行日: 2017/10/27

タイトル(英語): Measurement of extremely thin transparent electrode ITO film thickness based on amplitude information and phase information of white interference

著者名: 陳 凱(筑波大学),雷 楓(筑波大学),伊藤 雅英(筑波大学)

著者名(英語): Chen Kai(University of Tsukuba),Lei Feng(University of Tsukuba),Itoh Masahide(University of Tsukuba)

キーワード: 白色干渉計測|ＦＤＡアルゴリズム|透明膜の厚さ|フーリエ変換|振幅情報|位相情報|White light interferometry|Frequency domain analysis|Thin film thickness|Fourier analysis|Amplitude information|Phase information

要約(日本語): 本研究では、理論的な基礎としての白色干渉による膜厚の計測原理に基づいて、Matlabで理論的なモデルを建てて、曲線類似性により、超薄い透明電極ITO膜の膜厚（90nm）を解析できるカープマッチング法を開発することを行った。振幅情報によりノイズの影響の不安定データを除去している。残った有効データの位相情報により、この改良したカープマッチング法により、極めて薄い透明電極ITO膜の膜厚（9nm）が計測できるようにした。サンプルの屈折率分散、対物レンズの開口数NAなどの計測精度に影響を与えるパラメータを考慮すると、計測結果の正確性と精確性が向上するようにした。

要約(英語): Based on the white light interferometry, we proposed a new method to measure the thickness of transparent electrode ITO film less than 20nm by curve matching algorithm, using the effective phase information obtained by Fourier transform of white light interferogram.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 468 Kバイト