電子線トモグラフィー用自動撮影システムにおける新規ドリフト補正

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IP11002

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 情報処理研究会

発行日: 2011/04/22

タイトル(英語): A drift correction system for auto-capture systems used in electron tomography

著者名: 常田 るり子(日立製作所),菊池 秀樹(日立ハイテクノロジーズ)

著者名(英語): Tsuneta Ruriko(Hitachi,Ltd.,Central Research Laboratory),Kikuchi Hideki(Hitachi High-Technologies Corporation)

キーワード: 電子線トモグラフィー|自動撮影|ドリフト補正|撮影方式|electron tomography|auto-capture|drift correction|capture mode

要約(日本語): 電子線トモグラフィー用自動撮影は、試料が非常に小さいことに起因する補正機能を搭載する必要がある。例えば、試料が撮影中に数画素以上ドリフトする場合がある。そこで、走査型の電子顕微鏡にはFast ScanとSlow Scanの２つの撮影方式があることを利用した新規ドリフト補正システムを開発した。

要約(英語): Auto-capture systems used in electron tomography must have a correction function for when samples are very small because such samples may drift more than several pixels during capture. Therefore, we developed a drift correction system that uses two capture modes, fast and slow, of a scanning electron microscope.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 929 Kバイト