ArF液浸露光装置の開発状況

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV06002

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　光応用・視覚研究会

発行日: 2006/03/03

タイトル(英語): Progress in the Development of ArF Immersion Exposure Tool

著者名: 小林 正道(キャノン),中野 一志(キャノン),荒川 三喜男(キャノン)

著者名(英語): Masamichi Kobayashi(Canon Inc.),Hitoshi Nakano(Canon Inc.),Mikio Arakawa(Canon Inc.)

キーワード: ArF| 液浸|リソグラフィー|水|バブル|欠陥|感光剤|溶出|今民ネーション|気化熱

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,053 Kバイト