液浸リソグラフィ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV06003

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　光応用・視覚研究会

発行日: 2006/03/03

タイトル(英語): Immersion Lithography

著者名: 龜山 雅臣(株式会社ニコン)

著者名(英語): Masaomi KAMEYAMA(Nikon Corporation)

キーワード: 光リソグラフィ|偏光照明|液浸リソグラフィ|高屈折率材料|気化熱

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 963 Kバイト