EUV多層膜用キャッピングレイヤの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV06007

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　光応用・視覚研究会

発行日: 2006/03/03

タイトル(英語): Development of capping layers on multi-layer mirrors for EUV lithography tool

著者名: 松成 秀一(EUVA),青木 貴史(EUVA),村上 勝彦(EUVA),寺島 茂(EUVA),高瀬 博光(EUVA),五明 由夫(EUVA),角谷 幸信(兵庫県立大 高度研),新部正人 (兵庫県立大 高度研)

著者名(英語): Shuichi Matsunari(EUVA),Takashi Aoki(EUVA),Katsuhiko Murakami(EUVA),Shigeru Terashima(EUVA),Hiromitsu Takase(EUVA),Yoshio Gomei(EUVA),Yukinobu Kakutani(LASTI,University of Hyogo),Masahito Niibe(LASTI,University of Hyogo)

キーワード: 極端紫外線|リソグラフィー|コンタミ|酸化|多層膜|キャッピングレイヤ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,137 Kバイト