フーリエ解析補正エリプソメトリー法による高周波誘電率測定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV08011

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　光応用・視覚研究会

発行日: 2008/01/18

タイトル(英語): Dielectric Permittivity Measurements by Fourier Analysis Correction Ellipsometry Method

著者名: 續山浩二 (プリンテック)

著者名(英語): Koji Tsuzukiyama(Printec Corporation)

キーワード: 誘電率|エリプソメトリー|フーリエ解析|高周波|ミリ波|電波吸収体|permittivity|ellipsometry|Fourier analysis|high frequency|millimeter-wave|electromagnetic wave absorber

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 522 Kバイト