EUVLマスク評価の現状と今後の課題

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV09029

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　光応用･視覚研究会

発行日: 2009/03/19

タイトル(英語): Status of EUVL Mask Inspection System

著者名: 木下 博雄(兵庫県立大学),渡邊 健夫(兵庫県立大学),原田 哲男(兵庫県立大学)

著者名(英語): Hiroo Kinoshita(UNIVERSITY OF HYOGO),Takeo Watanabe(UNIVERSITY OF HYOGO),Tetuo Harada(UNIVERSITY OF HYOGO)

キーワード: 極端紫外線リソグラフィ|マスク|欠陥|検査|EUVL|Mask|Defect|Inspection

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 773 Kバイト