レーザ走査リソグラフィによる微細管・線材上への螺線パターン形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV11010

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 光応用・視覚研究会

発行日: 2011/02/25

タイトル(英語): Helical Patterning onto Fine Pipe and Wire Specimens Using Laser Scan Lithography

著者名: 堀内 敏行(東京電機大学),石井 秀敏(東京電機大学),篠崎 保秀(東京電機大学),小川 哲矢(東京電機大学)

著者名(英語): Horiuchi Toshiyuki(Tokyo Denki University),Ishii Hidetoshi(Tokyo Denki University),Shinozaki Yasuhide(Tokyo Denki University),Ogawa Tetsuya(Tokyo Denki University)

キーワード: リソグラフィ|パイプ|線材|螺線パターン|レーザ|走査露光|lithography|pipe|wire|helical pattern|laser |scan exposure

要約(日本語): 微細銅パイプ、ステンレス線材の表面にレーザ走査リソグラフィによって螺線パターンを形成する技術を開発した。波長473nmの固体青色レーザ光を整形、縮小投影して試料に当て、試料を回転、直動させて表面に塗布したレジストを露光した。直径100μmの銅パイプに線幅約10μmのパターンを形成でき、直径80μmのステンレス鋼線材に線幅約50μmのパターンを線幅ばらつき±5%以下で形成できた。

要約(英語): Helical patterning technology on fine pipe and wire specimens was developed. Helically moved specimens were exposed to solid blue laser light. The minimum 10-μm patterns were delineated onto 100-μm copper pipes, and width variations of 50-μm patterns delineated on 80-μm diameter stainless steel wires were within ±5%.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 680 Kバイト