青色発光ダイードを用いた露光装置に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV12012

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 光応用・視覚研究会

発行日: 2012/08/01

タイトル(英語): Research on the Exposure Tool Using a Blue Light-Emitting-Diode Matrix Array

著者名: 岩崎 順哉(東京電機大学),堀内 敏行(東京電機大学)

著者名(英語): Junya Iwasaki(Tokyo Denki University),Toshiyuki Horiuchi(Tokyo Denki University)

キーワード: リソグラフィ|露光装置|発光ダイード|液晶パネル|ナンバリング|高圧水銀ランプ|lithography|exposure system|LED|liquid crystal display|LCD|Light-Emitting-Diode

要約(日本語): 液晶パネルや半導体ウェハの製品管理用に部品基板にシリアルナンバーなどを２次元コードとして印字するためのナンバリング露光装置を青色ＬＥＤを光源として簡便、安価に実現する研究の進捗状況を紹介する。波長４０５ｎｍのＬＥＤに約□１ｍｍの角型化光ファイバーを取り付けた５×５のマトリクスアレイを用い、１／１０倍縮小投影して約□１００μｍのコードマークの印字に成功している。

要約(英語): A novel technology is proposed to print serial numbers and two dimensional code marks on semiconductor wafers and liquid crystal display panels using a blue light-emitting-diode (LED) matrix array as a light source.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 794 Kバイト