小径円筒試料表面への投影露光リソグラフィ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV14019

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 光応用・視覚研究会

発行日: 2014/12/10

タイトル(英語): Projection-Exposure Lithography onto Small-Diameter Pipes

著者名: 堀内 敏行(東京電機大学　),藤井 勇人(東京電機大学),安永 かほり(東京電機大学)

著者名(英語): Horiuchi Toshiyuki(Tokyo Denki University),Fujii Hayato(Tokyo Denki University),Yasunaga Kahori(Tokyo Denki University)

キーワード: リソグラフィ|投影露光|小径管|露光装置|円筒試料|大パターン|lithography|projection exposure|small-diameter pipe|exposure system|pipe specimen|large pattern

要約(日本語): 外径1～3mmの小径のパイプをベースとした3次元マイクロ部品を製作するため、その表面上へリソグラフィを用いてパターンを形成することが要求されている。そこで、小径パイプの外面全周に線幅100m以下のレジストパターンを形成する投影露光装置を開発した。実験の結果、100μmのラインアンドスペースパターンをほぼ均一に形成できることが分かった。

要約(英語): A new lithography method for printing relatively large patterns with around 100 μm onto whole surfaces of small diameter pipes with 2.4 mm was investigated. Original patterns are continuously printed on surfaces of specimen pipes by rotating the pipes through a narrow oblong slit with a width of 0.8 mm. It was demonstrated that 100-μm lines and spaces were homogeneously printed.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,275 Kバイト