液晶プロジェクタを用いた投影露光におけるフィールド内露光均一性の向上

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV15022

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 光応用・視覚研究会

発行日: 2015/12/02

タイトル(英語): Improvement of Exposure Homogeneity in the Field of Projection Exposure System Using a Liquid-Crystal-Display Projector

著者名: 堀内 敏行(東京電機大学),羽根石 翔太(東京電機大学),吉田 有美香(東京電機大学)

著者名(英語): Toshiyuki Horiuchi(Tokyo Denki University),Shota Haneishi(Tokyo Denki University),Yumika Yoshida(Tokyo Denki University)

キーワード: 液晶プロジェクタ|投影露光装置|レチクルレス|マスクレス|線幅均一性|露光フィールド|liquid-crystal-display projector|projection exposure system|reticleless|maskless|pattern width homogeneity|exposure field

要約(日本語): 市販の液晶プロジェクタの拡大投影光学系に代えてマクロ撮影用カメラレンズを装着した簡便安価な投影露光装置を製作した。レチクルレスで任意パターンを形成することができるが、リソグラフィに用いるには光強度のむらが大き過ぎた。光強度に加えて明暗のコントラストも露光フィールド内でほぼ一定になるように補正すると、フィールド全体にほぼ均一な線幅でパターンを形成できた。

要約(英語): A compact projection exposure system was developed using a commercial liquid-crystal-display projector, and arbitrary patterns were conveniently replicated. However, there were unfavorable light intensity distributions in the exposure field. Pattern widths became almost homogeneous if the contrast between black and white cells was appropriately compensated in addition to the brightness of white cells.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 741 Kバイト