産総研・早大大木研究室における導波モードセンサの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV16011

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 光応用・視覚研究会

発行日: 2016/02/19

タイトル(英語): Collaborative development of a waveguide-mode sensor by AIST and Waseda University

著者名: 大木 義路(早稲田大学),黒田 千愛(早稲田大学),藤巻 真(産業技術総合研究所),粟津 浩一(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Yoshimichi Ohki(Waseda University),Chiaki Kuroda(Waseda University),Makoto Fujimaki(AIST),Koichi Awazu(AIST)

キーワード: 導波モードセンサー|重金属検出|状態監視|近接場光|光吸収|反射スペクトル|waveguide-mode sensor|detection of heavy metal|condition monitoring|evanescent light|optical absorption|reflectance spectrum

要約(日本語): 産総研は，早大大木研と協力して，導波モードセンサの開発を行ってきた。同センサは，検出板の基板ガラス上に単結晶シリコン層と透明誘電体導波路層を持ち，これらの2層内に誘起させる導波モードを用いて検出板表面の状態変化を検出する。同センサは，検出板表面に透明電極を付与すると，電気化学的な反応を光学的に観察することもできる。本発表では，水中の重金属検出やめっき液の状態監視等の技術についての概要を紹介する。

要約(英語): In cooperation with the Ohki laboratory in Waseda University, AIST has been developing a waveguide-mode sensor consisting of a transparent dielectric waveguide and a single crystal silicon layer on a glass substrate. We will review typical applications of this sensor such as detection of heavy metals in water, monitoring of condition of a plating solution, and so on.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,271 Kバイト