リソグラフィとウェットエッチングによる 細径ステンレス管への密接スリットアレイの形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV18019

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 光応用・視覚研究会

発行日: 2018/11/28

タイトル(英語): Opening of Densely Arrayed Slits on Fine Stainless-Steel Pipes Using Lithography and Wet Etching

著者名: 堀内 敏行(東京電機大学),髙橋 宏志(東京電機大学),小林 宏史(東京電機大学),柳田 明(東京電機大学)

著者名(英語): Toshiyuki Horiuchi(Tokyo Denki University),Hiroshi Takahashi(Tokyo Denki University),Hiroshi Kobayashi(Tokyo Denki University),Akira Yanagida(Tokyo Denki University)

キーワード: レーザ走査リソグラフィ|電解エッチング|ステンレス管|網目管|スリットアレイ|レジスト|laser scan lithography|electrolytic etching|stainless-steel pipe|net-like pipe|slit array|resist

要約(日本語): 細径ステント用の微細網目管製作などへの応用を目指し、汎用ステンレス鋼SUS304細径管の微細加工を研究中である。ここでは、外径100?mのステンレス細径管に塗布したレジスト膜にレーザ走査リソグラフィによりスリットパターンアレイを描き、レジストをマスキング材に管を電解エッチングして、管の外周45度おきに8列、軸方向に30個ずつ、合計240個のスリットアレイを形成した。

要約(英語): Technologies for fabricating net-like pipes were researched using fine pipes of versatile stainless steel SUS 304. After delineating 30 slit patterns in 8 lines on a 100-?m fine pipe coated with a resist using laser scan lithography, the pipe was etched by an electrolytic method. In total, 240 slits were successfully opened on a pipe.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 711 Kバイト