軟Ｘ線レーザープローブによる金属表面のスパレーション過程の観測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV19016

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 光応用・視覚研究会

発行日: 2019/08/30

タイトル(英語): Observation of fs-laser spallative ablation dynamics using soft X-ray laser probe

著者名: 錦野 将元(量子科学技術研究開発機構),長谷川 登(量子科学技術研究開発機構),石野 雅彦(量子科学技術研究開発機構)

著者名(英語): Masaharu Nishikino(Quantum Beam Science Research Directorate National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology),Noboru Hasegawa(Quantum Beam Science Research Directorate National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology),Masahiko Ishino(Quantum Beam Science Research Directorate National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology)

キーワード: レーザーアブレーション|フェムト秒レーザー|スパレーション|軟Ｘ線レーザープローブ|Laser ablation dynamics|femto second laser|spallation|soft x-ray laser probe

要約(日本語): フェムト秒レーザー加工の精密な制御を行うには、フェムト秒レーザーアブレーションのダイナミクスを観測し、理論モデルとの比較を通じて物理過程を理解することが必要である。波長13.9 nm(89 eV)の軟Ｘ線レーザーをプローブ光源とした時間空間分解計測システムを用いて観測したフェムト秒レーザーによって生じる金表面の破砕的アブレーション過程について述べる。

要約(英語): We observed a single-shot image of fs-laser ablation dynamics by a soft X-ray laser (SXRL) probe system. The lateral resolution on the sample surface was improved to 0.7 μm using precise imaging optics. Using this system, we succeeded in observing thin film structures above the solid surface in the femtosecond laser ablation process of gold.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,355 Kバイト