フェムト秒レーザ照射によるシリコンおよびシリコン太陽電池の表面形状変化と結晶構造

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV19022

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 光応用・視覚研究会

発行日: 2019/08/30

タイトル(英語): Change of surface structures and crystallinity on Si and Si solar cells induced by femtosecond laser pulses

著者名: 児子 史崇(大阪産業大学),橋田 昌樹(京都大学),升野 振一郎(大阪大学),阪部 周二(京都大学),塚本 雅裕(大阪大学),草場 光博(大阪産業大学)

著者名(英語): Fumitaka Nigo(Osaka Sangyo University),Masaki Hashida(Kyoto University),Shin-ichirou Masuno(Osaka University),Shuji Sakabe(Kyoto University),Masahiro Tsukamoto(Osaka University),Mitsuhiro Kusaba(Osaka Sangyo University)

キーワード: フェムト秒レーザ|微細構造|シリコン|太陽電池|表面形状変化|結晶構造|femtosecond laser|nano-structures|silicon|solar cell|change of surface structures|crystallinity

要約(日本語): シリコンおよびシリコン太陽電池にフェムト秒レーザを照射し、結晶構造を保持したままナノ微細構造を付加することで、短波長領域における吸収効率が改善し、変換効率の高効率化ができると期待される。本論文では、アブレーション閾値の1~7倍のフルエンスに調整されたフェムト秒レーザによりシリコンおよびシリコン太陽電池表面への微細加工を行い、その表面形状変化と結晶構造を調べたのでその成果について報告する。

要約(英語): In this paper, nano/microfabrication experiments on silicon and silicon solar cell surface are performed in the fluence range from 1 to 7 times higher than the ablation threshold. We report change of surface structures and crystallinity on the silicons irradiated by femtosecond laser pulses.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,423 Kバイト