XeClエキシマレーザ微細加工の応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV19027

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 光応用・視覚研究会

発行日: 2019/12/11

タイトル(英語): Applications of the nanostructures processed by XeCl excimer laser

著者名: 草場 光博(大阪産業大学),児子 史崇(大阪産業大学),橋田 昌樹(京都大学),阪部 周二(京都大学)

著者名(英語): Mitsuhiro Kusaba(Osaka Sangyo University),Fumitaka Nigo(Osaka Sangyo University),Masaki Hashida(Kyoto University),Shuji Sakabe(Kyoto University)

キーワード: Ｓｉ太陽電池|エキシマレーザ|炭素薄膜|蓄電池|Si solar cell|Excimer laser |Thin filmed carbon |Strage battery

要約(日本語): 材料にレーザ微細加工を施すことで機能性を付加させる研究・開発がなされている。我々はXeClエキシマレーザを用いて高性能なSi太陽電池、レーザ駆動重イオン加速用炭素薄膜および蓄電池材料の開発を行っている。ここではこれらの最近の研究報告を行う。

要約(英語): We have been developing high performance Si solar cells, thin filmed carbon for laser driven heavy ion acceleration and storage batteries using XeCl excimer laser microfabrication technique. In this paper, we will report the recent results of these developments.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 400 Kバイト