反磁性材料のパッシブ磁気浮上を用いた非接触多次元駆動のための多面体形状永久磁石配列の試作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LD11008

グループ名: 【D】産業応用部門 リニアドライブ研究会

発行日: 2011/02/16

タイトル(英語): Proto Model of Polyhedral Permanent Magnet Array for Contact-free Multidimensional Drive by using Passive Magnetic Levitation of Diamagnetic Material

著者名: 島尾 敏裕(福島工業高等専門学校),門馬 直人(福島工業高等専門学校),齋藤 亮介(福島工業高等専門学校),板津 和任(福島工業高等専門学校),水野 雄太(福島工業高等専門学校),正木 俊幸(福島工業高等専門学校),平尾 篤利(福島工業高等専門学校),伊藤 淳(福島工業高等専門学校),鈴木 晴彦(福島工業高等専門学校)

著者名(英語): Toshihiro Shimao(Fukushima National College of Technology),Naoto Momma(Fukushima National College of Technology),Ryosuke Saito(Fukushima National College of Technology),Kazuto Itatsu(Fukushima National College of Technology),Yuta Mizuno(Fukushima National College of Technology),Toshiyuki Masaki(Fukushima National College of Technology),Atsutoshi Hirao(Fukushima National College of Technology),Atsushi Ito(Fukushima National College of Technology),Haruhiko Suzuki(Fukushima National College of Technology)

キーワード: パッシブ磁気浮上|多次元駆動|非接触|反磁性材料|passive magnetic levitation|multidimensional drive|contact-free|diamagnetic material

要約(日本語): 近年、半導体微細加工などの分野では、ダストレス・ノイズレスに加え、複雑な形状を加工するための複数の自由度を持った駆動システムが求められている。そこで本研究では、反磁性グラファイトや超伝導体によるパッシブ磁気浮上を用いた非接触で多自由度な動きが可能となる駆動モデルを構築する事を目的としている。本報ではこの初期段階として、ハルバッハ配列を参考にした多面体状永久磁石配列の試作について報告する。

要約(英語): Recently, system of high-precise driving is required a performance of dustless, noiseless and oil-free. Especially, contact-free multidimensional motion actuator is needed in the micro fabrication process. Since five years ago, we have investigated about the extremely energy saving contact-free positioning with nanometer scale by using passive magnetic levitation of diamagnetic materials. In current study, we are making contact-free multidimensional drive model using diamagnetic graphite. In this paper, we propose a preliminary design of brand-new polyhedral permanent magnet array on the basis of Halbach array.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 912 Kバイト