励振方式に依存する渦電流形変位センサの温度ドリフト

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LD12008

グループ名: 【D】産業応用部門 リニアドライブ研究会

発行日: 2012/02/21

タイトル(英語): Temperature Drift of Eddy-current Displacement Seonsor Depends on Exciting Method

著者名: 水野 勉(信州大学),北村 善紀(信州大学),安里 優一(信州大学),後藤 聖(信州大学),渡辺 隆志(信州大学),榎木 茂実(新川センサテクノロジ),品川 宏樹(新川センサテクノロジ)

著者名(英語): Mizuno Tsutomu(Shinshu University),Kitamura Yoshinori(Shinshu University),Asato Yuichi(Shinshu University),Goto Shou(Shinshu University),Watanabe Takashi(Shinshu University),Enoki Shigemi(SHINKAWA Sensor Technology,Inc),Shinagawa Hiroki(SHINKAWA Sensor Technology,Inc)

要約(日本語): 渦電流形変位センサ(EC変位センサ)は設置環境温度が変化すると温度ドリフトが生ずる。そこで設置環境温度が変化しても正確な変位を測定できる，温度ドリフトの小さいEC変位センサが要求されている。EC変位センサの励振方式には他励方式と自励方式の2種類ある。そこで，本論文では2種類の励振方式のEC変位センサの温度特性を明らかにしている。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 856 Kバイト