SmFe薄膜の作製と力センサデバイスへの応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LD12010

グループ名: 【D】産業応用部門 リニアドライブ研究会

発行日: 2012/02/21

タイトル(英語): Development of SmFe thin film and application of pressure sensor device

著者名: 平嶋 学(信州大学),伊東 大輔(信州大学),田代 晋久(信州大学),脇若 弘之(信州大学)

著者名(英語): Hirashima Manabu(Shinshu university),Ito Daisuke(Shinshu university),Tashiro Kunihisa(Shinshu university),Wakiwaka Hiroyuki(Shinshu university)

要約(日本語): SmFeは従来研究されてきたTbFeCoと同程度の最大磁歪量でありながら，価格が1/50となる。薄膜とすることでデバイスの小型化や省資源化，単位断面積あたりに加わる力が大きくなるため高感度化が可能となる。SmFe薄膜を用いた圧力の測定は，薄膜に力を加えた際の透磁率変化を周囲に配置した検出コイルのインダクタンス変化を電気信号に変化することで行う。平面コイル上にSmFe薄膜を配置し，応力を加えた際のコイルインピーダンスを測定した。

要約(英語): SmFe thin film make it possible to reduce size of device, resource saving and become high sensitivity, because force per unit cross-sectional area become larger. We put in SmFe thin film on the planar coil and measured coil’s inductance change with changes in pressure.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 963 Kバイト