電極層間ギャップを潤滑油のみで維持する多層構造静電アクチュエータを用いた微動ステージ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LD13003

グループ名: 【D】産業応用部門 リニアドライブ研究会

発行日: 2013/02/21

タイトル(英語): Fine Motion Stage with Multilayer Electrostatic Actuator Having the Gaps between Electrode Layers Maintained by Only Lubricating Oil

著者名: 佐藤 海二(東京工業大学)

著者名(英語): Sato Kaiji(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 静電アクチュエータ|多層|摩擦|潤滑油|位置決め|精密|electrostatic actuator|multilayer|friction|lubricating oil|positioning|precision

要約(日本語): 著者の研究グループは，電極層間に挿入された潤滑油のみで，層間の良好な潤滑特性を確保し，超精密な位置決めを実現する研究に取り組んでいる．従来の多層構造静電アクチュエータに，潤滑油のみを挿入し，適切な駆動信号を印加すると，層間ギャップを制御することが可能で，保持力を増大させることもできる．本報では，電極層間に潤滑油のみが挿入された，多層構造静電アクチュエータの基本特性と位置決め性能について紹介する．

要約(英語): This paper describes the multilayer electrostatic actuator of which the gaps between electrode layers are maintained by only lubricating oil. The structure and driving principle and of the actuator are introduced and the positioning results with the actuator are experimentally shown.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 937 Kバイト