半導体製造装置へのリニアモータの応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LD14029

グループ名: 【D】産業応用部門 リニアドライブ研究会

発行日: 2014/06/27

タイトル(英語): Linear Motor Application to Semiconductor Equipment

著者名: 星 俊行(安川電機),河野 巧(レニショー)

著者名(英語): Hoshi Toshiyuki(Yaskawa Electric Corporation),Kono Takumi(Renishaw K.K)

キーワード: 半導体製造装置|リニアモータ|Semiconductor Equipment|Linear Motor

要約(日本語): 半導体製造装置へのリニアモータの応用

要約(英語): Linear Motor Application to Semiconductor Equipment

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,083 Kバイト