PLD法で作製したNd-Fe-B系厚膜磁石の特性に及ぼすターゲット材の影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LD16140

グループ名: 【D】産業応用部門 リニアドライブ研究会

発行日: 2016/12/05

タイトル(英語): Effect of target materials on properties of PLD-fabrivated Nd-Fe-B thick magnets

著者名: 田中 哲平(長崎大学),内田 和孝(長崎大学),近藤 秀俊(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Teppei Tanaka(Nagasaki University),Kazutaka Uchida(Nagasaki University),Hidetoshi Kondo(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: ＰＬＤ法|Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ系磁石|厚膜磁石|ターゲット|PLD method|Nd-Fe-B magnet|thick film magnet|target

要約(日本語): 本研究では製造法の異なるターゲットA,Bを使用し, 数10 μm/hと比較的高い成膜レートを有するPLD法によりNd-Fe-B系磁石膜を作製した。それぞれのターゲットより作製した膜の組成と表面形態はほぼ同じ結果や傾向が得られたのに対し，ターゲットBより作製した膜Bの保磁力ならびに減磁曲線の角型性は，膜Aに比べ優れていることが明らかとなった。

要約(英語): In order to prepare Nd-Fe-B film magnets using a PLD(Pulsed Laser Deposition) with relatively high deposition rate above 10 ?m/h, we used two Nd-Fe-B targets of targer A and B which were produced by different production methods. Although the surface morphology together with composition of each film were almost the same in the both films fabricated using targets A and B, respectively, the coercivity values and squareness of demagnetization curves of film B were superior than those of film A.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,553 Kバイト