(CoPd-CaF2)/(CaF2)ナノグラニュラー積層膜のGHz帯高周波複素透磁率とノイズ抑制効果

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LD18045

グループ名: 【D】産業応用部門 リニアドライブ研究会

発行日: 2018/08/23

タイトル(英語): (CoPd-CaF2)/(CaF2) Nanogranular Multilayers: Complex Permeability and Noise Suppression in GHz Region

著者名: 直江 正幸(電磁材料研究所),遠藤 恭(東北大学),宮崎 孝道(東北大学),室賀 翔(秋田大学),馬 静言(東北大学),枦 修一郎(東北大学),石山 和志(東北大学)

著者名(英語): Masayuki Naoe(Research Institute for Electromagnetic Materials),Yasushi Endo(Tohoku University),Takamichi Miyazaki(Tohoku University),Sho Muroga(Akita University),Jingyan Ma(Tohoku University),Shuichiro Hashi(Tohoku University),Kazushi Ishiyama(Tohoku University)

キーワード: ナノグラニュラー膜|複素透磁率|磁気共鳴周波数|積層膜|ノイズ抑制|Nanogranular films|Complex permeability|Magnetic resonance frequency|Multilayers|Noise suppression

要約(日本語): CoPd-CaF2ナノグラニュラー膜の複素透磁率は、10 GHzを超える共鳴周波数を示すが、異方性分散低減が課題である。積層膜とすることで分散を低減できることは知られているが、タンデム法で成膜した本膜には、主なナノ組織とは異なる初期層があり、一層あたりの膜厚を変化させると、この寄与度も変化するため、低分散化のみならず、透磁率と共鳴周波数も制御できることを見出した。本膜のノイズ抑制効果を併せて示す。

要約(英語): The authors have fabricated ferromagnetic CoPd-CaF2/CaF2 nanogranular multilayers. Nanogranular films deposited by tandem-sputtering have the initial layer exhibiting different nanostructure from the main body. It was found that a change of the contribution of the initial layer attributed to nanogranular layer thickness per one layer controlled not only anisotropic dispersion but also static permeability and the resonance frequency. Noise suppressions of these films were also investigated.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,789 Kバイト