熱処理条件および断面形状制御による高周波キャリア型薄膜磁界センサの高感度化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG05052

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　マグネティックス研究会

発行日: 2005/07/14

タイトル(英語): High-Frequency-Carrier Type Thin Film Magnetic Field Sensor by controlling annealing temperature and cross sectional shape.

著者名: 村山芳隆 (東北大学電気通信研究所),小澤哲也 (東北大学電気通信研究所),藪上信 (東北大学電気通信研究所),石山和志 (東北大学電気通信研究所),荒井賢一 (東北大学電気通信研究所)

著者名(英語): Y.Murayama (RIEC Tohoku University),T.Ozawa (RIEC Tohoku University),S.Yabukami (RIEC Tohoku University),K.Ishiyama (RIEC Tohoku University),K.I.Arai (RIEC Tohoku University)

キーワード: 高周波キャリア型薄膜磁界センサ|電流密度|高感度化

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,123 Kバイト