磁歪駆動型片持ち梁アクチュエータの特性に及ぼす基板の影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG06183

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　マグネティックス研究会

発行日: 2006/12/19

タイトル(英語): Study of the substrates for cantilevered actuators driven by magnetostriction

著者名: 横田周子 (東北大学電気通信研究所),石山和志 (東北大学電気通信研究所),荒井賢一 (東北大学電気通信研究所)

著者名(英語): Chikako.Yokota (RIEC,Tohoku University.),Kazushi.Ishiyama (RIEC,Tohoku University.),K.I.Arai (RIEC,Tohoku University.)

キーワード: カンチレバー|磁歪材料|磁性薄膜|FeSiB|弱磁界

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 774 Kバイト