EB装置を対象としたアクティブ磁気シールドの補償コイル形状に関する検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG07097

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　マグネティックス研究会

発行日: 2007/10/04

タイトル(英語): Configuration of Compensation Coil on Active Shielding for Electron Beam Lithography System

著者名: 山崎 慶太(竹中工務店,岩手大学,佐賀大学,東北学院大学),小野木和了 (竹中工務店,岩手大学,佐賀大学,東北学院大学),小林 宏一郎(竹中工務店,岩手大学,佐賀大学,東北学院大学),村松 和弘(竹中工務店,岩手大学,佐賀大学,東北学院大学),芳賀 昭(竹中工務店,岩手大学,佐賀大学,東北学院大学)

著者名(英語): Keita Yamazaki(Takenaka Corporation,Iwate University,Saga University,Tohoku Gakuin University),Takanori Onoki(Takenaka Corporation,Iwate University,Saga University,Tohoku Gakuin University),Koichiro Kobayashi(Takenaka Corporation,Iwate University,Saga University,Tohoku Gakuin University),Kazuhiro Muramatsu(Takenaka Corporation,Iwate University,Saga University,Tohoku Gakuin University),Akira Haga(Takenaka Corporation,Iwate University,Saga University,Tohoku Gakuin University)

キーワード: アクティブ磁気シールド|電子線描画装置|補償コイル|三次元磁界解析

要約(日本語): 低周波磁気ノイズの影響を受ける電子線描画装置（EB装置）用のアクティブ磁気シールドの最適設計を目的として、補償コイルの形状、ピックアップセンサの位置について、実験と磁界解析により検討した．

要約(英語): Compensation coils of active shield were constructed by four configuration coils (large and small type of two and four square coils). And experiments using an EBLS model and 3-D magnetic field computations were carried out to find out the effect of the co

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 679 Kバイト