DREI装置と磁性体の微細加工

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG07145

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　マグネティックス研究会

発行日: 2007/12/19

タイトル(英語): Electric Field Computation Errors on Electrode in Charge Simulation Method

著者名: 上ノ段暁(九州工業大学),竹澤昌晃(九州工業大学),森本祐治(九州工業大学),本田崇(九州工業大学),山崎二郎(九州工業大学)

著者名(英語): Akira Uenodan|Masaki Takezawa|Yuji Morimoto|Jirou Yamasaki

キーワード: Siマイクロマシニング| RIE| DRIEプロセス| O2プラズマ| 側壁保護|磁気繊毛

要約(日本語): 近年、小型生産システム「マイクロファクトリ」は、少量多品種の部品を省スペース、省エネルギーで生産できる革新的なシステムとして大きく期待されている。このシステムは、マイクロ部品を加工するユニット、システム外で加工された部品を供給するユニット、これらの部品を精密に組み立てるユニット、そして前記3つを統合する搬送するユニットから主に構成されており、各ユニットにおける小型化やそのための要素技術の開発が行われている。本研究ではこの搬送機構を目的とし、磁性体を用いた「磁気繊毛アクチュエータ」を提案している。これは、搬

要約(英語): Recently, small production systems, so-called “micro-factory”, are expected as the innovative system that can manufacture a wide variety of products in small quantities with space-saving, energy saving greatly. This system consists of a unit to supply pro

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 612 Kバイト