Bを添加したCoFe膜の異方性磁界におけるRu下地層の効果

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG07154

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　マグネティックス研究会

発行日: 2007/12/20

タイトル(英語): Effect of Ru Underlayer on Uniaxial Anisotropy of the CoFeB Thin Film

著者名: 宗像誠(崇城大学),牛水紘貴(崇城大学),槙孝一郎(住友金属鉱山),大越正敏 (九州工業大学)

著者名(英語): Makoto Munakata|Hiroki Ushimizu|Kouchirou Maki|Masatoshi Okoshi

キーワード: 二元RFマグネトロンスパッタ法| CoFe膜|高飽和磁化|異方性磁界|高共鳴周波数

要約(日本語): (Co35Fe65 )B膜をRF二元同時マグネトロンスパッタ法により作製し，B量に依存する結晶構造と一軸異方性などの磁気特性の変化を調べた．さらに，Ru下地層をこれらの膜に用いて作製した結果，有効なGHｚ帯透磁率特性に有効な一軸異方性と低保磁力が得られ，下地層による改善効果が認められた．これに伴って，結晶構造においては，１－２％程度の格子の伸び，および(200)面の一軸性配向が観測された．

要約(英語): (Co35Fe65 )B magnetic films with Ru underlayer were fabricated and characterized using a special RF-magnetron sputtering method. The underlayer coating effect of improving soft magnetic properties for the GHz frequency use was investigated in association

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 460 Kバイト