下地膜によるCo-Smアモルファス薄膜の熱処理挙動改善

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG07155

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　マグネティックス研究会

発行日: 2007/12/20

タイトル(英語): The underlayer effect on thermal stability of Co-Sm amorphous films

著者名: 池田 賢司(太陽誘電・信州大学),鈴木 利昌(太陽誘電),佐藤敏郎 (信州大学)

著者名(英語): Kenji Ikeda(Taiyo Yuden Co.,Ltd.,Shinshu University),Toshimasa Suzuki(Taiyo Yuden Co.,Ltd.),Toshiro Sato(Shinshu University)

キーワード: Co-Sm|下地膜| 熱処理| アモルファス|高周波|透磁率|異方性磁界|強磁性共鳴周波数

要約(日本語): Co-Smアモルファス薄膜の熱処理による磁気特性の劣化を抑制することを目的として、下地膜を用いたCo-Sm薄膜を作製し、熱処理による磁気特性変化の測定とTEMによる断面構造解析を行った。下地膜を用いることにより450℃以下の熱処理に伴う異方性磁界の劣化が緩和されることが明らかとなり、TEM観察では下地膜によって界面近傍のSm微結晶の生成を抑制できることが確認された。この結果は熱処理による異方性磁界劣化の原因が、アモルファスから結晶相への相転移と、界面近傍の微結晶を成長核とする結晶成長から構成されていること

要約(英語): The underlayer effect on thermal stability of Co-Sm amorphous films have been investigated in terms of its process-integration capability for GHz micro-magnetic devices. An isotropy magnetic field Hk of the films tend to decrease with increasing temperatu

原稿種別: 日本語

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