FeCoスパッタ薄膜の酸素微量含有及びその磁気特性への影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG07156

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　マグネティックス研究会

発行日: 2007/12/20

タイトル(英語): Oxygen impurity and its effects on the magnetic properties of FeCo sputtered thin films

著者名: 劉小晰 (信州大学),森迫 昭光(信州大学)

著者名(英語): Xiaoxi,Liu|Akimitsu,Morisako

キーワード: 軟磁性薄膜|高飽和磁化|ガス反応性スパッタ|不純物

要約(英語): Oxygen is found to be the main impurity in sputtered FeCo thin films. Oxygen free FeCo films are successfully prepared by introducing acetylene gas incorporated with argon gas during the sputtering process. The saturation magnetization first increases wit

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 308 Kバイト