Nd-Fe-B.Nd薄膜における酸化状態と保磁力

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG09071

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　マグネティックス研究会

発行日: 2009/08/05

タイトル(英語): Oxidation State and Coercivity of Nd-Fe-B.Nd Thin Films

著者名: 松浦 昌志(東北大学),深田東吾 (東北大学),後藤龍太 (東北大学),手束展規 (東北大学),杉本 諭(東北大学)

著者名(英語): Masashi Matsuura(Tohoku University),Togo Fukada(Tohoku University),Ryota Goto(Tohoku University),Nobuki Tezuka(Tohoku University),Satoshi Sugimoto(Tohoku University)

キーワード: Nd-Fe-B薄膜|超高真空マグネトロンスパッタリング|保磁力|酸化|アモルファス|熱処理|Nd-Fe-B thin films|UHV magnetron sputtering|coercivity|oxygen|amorphous|post-annealing

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,109 Kバイト