ナノグラニュラTMR薄膜を用いた次世代磁気センサGIGSの耐熱性向上

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG10113

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2010/09/21

タイトル(英語): Improvements in Thermal-Stability of Novel Magnetic Sensor Using Nano-Granular TMR Film

著者名: 直江 正幸(電磁気磁気材料研究所),小山 恵史(大同特殊鋼),長田 誠一(大同特殊鋼),金田 安司(電磁気磁気材料研究所),白川 究(電磁気磁気材料研究所),増本 健(電磁気磁気材料研究所)

著者名(英語): Naoe Masayuki(Research Institute for Electric and Magnetic Materials),Koyama Shigenobu(Daido Steel Co.,Ltd.),Nagata Seiichi(Daido Steel Co.,Ltd.),Kaneta Yasushi(Research Institute for Electric and Magnetic Materials),Shirakawa Kiwamu(Research Institute for Electric and Magnetic Materials),Masumoto Tsuyoshi(Research Institute for Electric and Magnetic Materials)

キーワード: 磁気センサ|ナノグラニュラＴＭＲ膜|耐熱性|相互拡散|バリア層|オージェ電子分光|magnetic sensor|nano-granular TMR film|thermal-stability|inter-diffusion|thin film barrier layer|Auger electron spectroscopy

要約(日本語): ナノグラニュラTMR膜を次世代磁気センサに適用すると，膜単独よりも耐熱性が悪化することがわかった．原因が素子構造中のTMR薄膜－Si-O絶縁膜間の相互拡散にあると考え，TMR薄膜の主成分であるMg-Fを前記界面にバリア層として設置した．試料を作製し耐熱性を調べた結果，耐熱性改善を確認した．オージェ電子分光を用いた組成分析を行った結果，相互拡散をMg-Fバリア層が抑えていることを示した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 8,718 Kバイト