インパルス電圧による非接触式シート抵抗測定法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG10134

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2010/11/01

タイトル(英語): Contactless Method for Measuring Sheet Resistance by Means of Impulse Voltage

著者名: 大井 翔太(千葉大学),秋元 翔太(千葉大学),早乙女 英夫(千葉大学)

著者名(英語): Ooi Shota(Chiba University),Akimoto Shota(Chiba University),Saotome Hideo(Chiba University)

キーワード: シート抵抗|抵抗率|導電率|ウェハ|渦電流|インパルス電圧|sheet resistance|resistivity|conductivity|wafer|eddy current|impulse voltage

要約(日本語): 試料のジュール発熱を最小限にしたインパルス電圧による非接触式シート抵抗測定法について，その原理と実験結果を述べる。

要約(英語): This paper presents a novel contactless method for measuring the sheet resistance with impulse voltage which causes minimal Joule heat in the wafers. The novel method needs no analogue electronic circuit being sensitive to the thermal drift. Experimental results show that the proposed method has high possibility for the application to practical use.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,477 Kバイト