伝送線路型薄膜磁界センサの試作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG10199

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2010/12/16

タイトル(英語): A fabrication of transmission line type thin film magnetic field sensor

著者名: 谷地舘 藍(仙台高等専門学校),佐藤 弘二(東北学院大学),佐藤 彰(東北学院大学),薮上 信(東北学院大学),小澤 哲也(仙台高等専門学校),小林 伸聖(電気磁気材料研究所),中居 倫夫(宮城県産業技術総合センター),荒井 賢一(電気磁気材料研究所)

著者名(英語): Yachidate Ai(Sendai National College of Technology),Sato Koji(TohokuGakuin University),Sato Akira(TohokuGakuin University),Yabukami Shin(TohokuGakuin University),Ozawa Tetsuya(Sendai National College of Technology),Kobayashi Nobukiyo(Research Institute for Electric and Magnetic Materials),Nakai Tomoo(Industrial Technology Institute,Miyagi Prefectural Government),Arai Ken Ichi (Research Institute for Electric and Magnetic Materials)

要約(日本語): センサ素子全体を薄膜プロセスにより作成した伝送線路型薄膜磁界センサを試作した。アモルファスCoNbZr薄膜とコプレーナ型伝送線路を組み合わせ、被測定磁界に対するキャリア信号の位相変化を検出対象とする磁界センサを製作した。試作した磁界センサのインピーダンスおよび位相変化を測定し、その結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 735 Kバイト