MFMを応用した高周波近傍磁界計測法に関する基礎研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG10207

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2010/12/17

タイトル(英語): Study on development of a measurement technique of high frequency magnetic near field using MFM

著者名: 遠藤 恭(東北大学),渡邉 政考(東北大学),島田 寛(東北大学),山口 正洋(東北大学)

著者名(英語): Endo Yasushi(Tohoku University),Watanabe Masatoshi(Tohoku University),Shimada Yutaka(Tohoku University),Yamaguchi Masahiro(Tohoku University)

キーワード: 磁気力顕微鏡|高周波磁気力顕微鏡|高周波近傍磁界|振幅変調|コプレーナ伝送線路|電磁干渉|MFM|HF-MFM|high frequency magnetic near field|AM|CPW|EMI

要約(日本語): 近年ICチップ内において微細な信号配線の放射ノイズに対する新たな計測技術の構築が求められている．これに対する一つの手法として，空間分解能が20nm程度を有する磁気力顕微鏡（MFM）を用いた高周波磁界計測法が挙げられる．本研究では，MFMを応用したICチップ内の新たな放射ノイズ計測技術の構築を最終目標に掲げ，基礎検討としてコプレーナ伝送線路上における高周波近傍磁界計測を，MFM探針を用いて行った結果について報告する．

要約(英語): This paper investigates a method of RF magnetic field measurement in close proximity to a CPW employing a combination of MFM and AM of CPW signal current. By setting the frequency of modulating current at the mechanical resonance frequency of the MFM tip, the near field from the modulated signal in CPW is detected in the frequency range between 0.10 80 MHz. Using a mono-pole tip distribution of the vertical component of magnetic field in close proximity to CPW was successfully measured for carrier frequencies of 10, 50 MHz and the tip resonance frequency. The distributions differ from each other distinctly suggesting that the technique is promising for detection of RF magnetic near field generated by signal current in IC circuits.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 813 Kバイト