ミアンダ形プローブによる磁性薄膜の透磁率分布の評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG10208

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2010/12/17

タイトル(英語): Evaluation of Permeability Distribution of Magnetic Thin Film by Meander-Type Probe

著者名: 高橋 純也(仙台高等専門学校),薮上 信(東北学院大学),小澤 哲也(仙台高等専門学校),宮澤 安範(東栄科学産業),柳 邦雄(東栄科学産業),島田 寛(東北大学)

著者名(英語): Takahashi Junya(Sendai National College of Technology),Yabukami Shin(Tohoku Gakuin University),Ozawa Tetsuya(Sendai National College of Technology),Miyazawa Yasunori(Toei Scientific Industrial co.,Ltd),Yanagi Kunio(Toei Scientific Industrial co.,Ltd),Shimada Yutaka(Tohoku University)

キーワード: 透磁率|磁性薄膜|ミアンダ線路|permeability|magnetic thin film|meander line

要約(日本語): 従来の磁性薄膜における透磁率評価方法は評価用基板をウエハや基板から特定サイズに切り取る必要があり、材料開発等の点から非効率であった。本報告ではミアンダ形のプローブを開発し、これを磁性薄膜に近接させることで高周波インピーダンス計測及び最適化処理により非破壊に透磁率を評価した。さらに、本手法を大サイズの試料へ適用し、局所的な透磁率評価を行ったので報告する。

要約(英語): A highly sensitive method of obtaining the permeability of magnetic film without limitations in sample size was developed based on the electrical impedance of magnetic film in contact with microstrip meander lines. The permeability of a CoNbZr thin film (50 × 50 mm, 0.1 micro-m thick) was evaluated in a frequency range of 10 MHz-8 GHz; the measured values roughly corresponded to those obtained with the Landau-Lifshitz-Gilbert equation. The proposed method shows promise for measuring the permeability of wafer-sized samples because it is not restricted by size limitations.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,400 Kバイト