ガスフロースパッタ法によるL10規則化したFePt薄膜における粒子の微細化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG10211

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2010/12/17

タイトル(英語): Formation of closely packed grains with L10 ordering in gas-flow-sputtered FePt thin films

著者名: 設楽 修平(宇都宮大学),小田嶋 亮(宇都宮大学),佐藤 芳樹(宇都宮大学),佐久間 洋志(宇都宮大学),石井 清(宇都宮大学)

著者名(英語): Shidara Shuhei(Utsunomiya University),Odashima Ryo(Utsunomiya University),Sato Yoshiki(Utsunomiya University),Sakuma Hiroshi(Utsunomiya University),Ishii Kiyoshi(Utsunomiya University)

キーワード: 鉄白金|ガスフロースパッタ|規則化|微細構造|保磁力|微細構造モデル|FePt|Gas flow sputtering|Ordering|Microstructure|Coercivity|Structure zone model

要約(日本語): 堆積中の基板加熱および真空中のアニールの2つの加熱法を用いて、ガスフロースパッタによってFePt薄膜を作製しL10規則化と微細構造について評価した。2つの方法ともに300℃かつ膜厚が60nm のFePt薄膜において規則度が0.6を超える膜が得られた。堆積中の基板加熱においては緻密な柱状構造からなり、真空中のアニールではボイドを含んだ膜を形成した。2つの加熱法によって作製された膜の微細構造の違いは、微細構造モデルによって説明する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,084 Kバイト