ホール素子を適用したシート抵抗の測定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG11007

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2011/03/28

タイトル(英語): Contactless Measurement of Sheet Resistance Using Hall Device

著者名: 近藤 和樹(千葉大学),早乙女 英夫(千葉大学)

著者名(英語): Kondo Kazuki(Chiba University),Saotome Hideo(Chiba University)

キーワード: ホール素子|シート抵抗|電磁誘導|Hall device|sheet resistance|electro-magnetic induction

要約(日本語): ホール素子を適用した非接触型シート抵抗測定に関する実験結果を報告する。

要約(英語): This paper presents a novel contactless measurement method of sheet resistance, using Hall device.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,649 Kバイト