ガスフロースパッタ法による新奇形状Fe微粒子の作製と粒径制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG11033

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2011/08/03

タイトル(英語): Size and shape control of Fe fine particles in gas flow sputtering process

著者名: 坂本 真一(宇都宮大学),直井 亮征(宇都宮大学),齋藤 勇介(宇都宮大学),佐久間 洋志(宇都宮大学),石井 清(宇都宮大学)

著者名(英語): Sakamoto Shinichi(Utsunomiya University),Naoi Akimasa(Utsunomiya University),Saito Yusuke(Utsunomiya University),Sakuma Hiroshi(Utsunomiya University),Ishii Kiyoshi(Utsunomiya University)

キーワード: ガスフロースパッタ法|鉄微粒子|結晶成長|気相法|ガス流シミュレーション|構造解析|gas flow sputtering|Fe fineparticle|crystal growth|dry process|gas flow simulation|structure analysis

要約(日本語): 本研究ではガススロースパッタ法によるFe微粒子生成プロセスにおける形状と粒径の制御を目的とした．ガス流量が少なく，基板－ターゲット間距離が長い場合には大きな粒子の周りに小さな粒子が付着したような凝集体粒子，ガス流量が多く基板－ターゲット間距離が短い場合には結晶面が現れた立方体粒子，ターゲット中心軸からの距離が長い場合には10 nm程度の小さな粒子が生成した.

要約(英語): This study aimed at the size and shape control of Fe fine particles in gas flow sputtering process. “Aggregated particles,” in which small particles adhere on a large particle, were formed under the conditions of low gas flow rate and long target-substrate separation. Otherwise “cubic particles,” in which crystal facets appear on the particle surface, were formed.

原稿種別: 日本語

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