ミアンダ形プローブを用いた10.6GHzまでの薄膜透磁率計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG11037

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2011/08/03

タイトル(英語): Thin film permeability measurement up to 10.6 GHz using meander probe

著者名: 薮上 信(東北学院大学),佐藤 彰(東北学院大学),小澤 哲也(東北学院大学),宮澤 安範(東栄科学産業),島田 寛(東北大学),宗像 誠(崇城大学),塩川 孝泰(東北学院大学)

著者名(英語): Yabukami Shin(Tohoku Gakuin University),Sato Akira(Tohoku Gakuin University),Ozawa Tetsuya(Tohoku Gakuin University),Miyazawa Yasunori(Toei Scientific Industrial co.,ltd.),Shimada Yutaka(Tohoku University),Munakata Makoto(Sojo University),Shiokawa Takayasu(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 透磁率|磁性薄膜|permeability|magnetic thin film

要約(日本語): 従来磁性薄膜の透磁率計測は評価用基板を特定のサイズに切り出す必要があった。本報告ではミアンダ形プローブを磁性薄膜へ近接配置し、高周波インピーダンスから透磁率を最適化した。この手法により、45mm×25 mm の比較的大サイズのCoFeB 薄膜の局所的な透磁率を10.6GHz まで評価した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,461 Kバイト