ヘテロ積層構造磁気光学体形成のためのレーザ光源を用いた磁性ガーネット膜の結晶化熱処理

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG11038

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2011/08/03

タイトル(英語): Crystallization of magnetic garnet films by laser annealing for fabrication of hetero-multilayered magneto-optical media

著者名: 鈴木 祐太(豊橋技術科学大学),江藤 優(豊橋技術科学大学),後藤 太一(豊橋技術科学大学),高木 宏幸(豊橋技術科学大学),Lim Pang Boey (豊橋技術科学大学),Baryshev Alexander V (豊橋技術科学大学),井上 光輝(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Yuta Suzuki(Toyohashi university of technology),Yu Eto(Toyohashi university of technology),Taichi Goto(Toyohashi university of technology),Hiroyuki Takagi(Toyohashi university of technology),Pang Boey Lim (Toyohashi university of technology),Alexander V Baryshev (Toyohashi university of technology),Mitsuteru Inoue(Toyohashi university of technology)

キーワード: 磁性フォトニック結晶|レーザー熱処理|磁性薄膜|磁気光学効果|Magnetophotonic Crystal|Laser annealing|Magnetic thin film|Magneto-optic effect

要約(日本語): 磁性フォトニック結晶は，磁性ガーネット膜を二つの誘電体ミラー(Ta2O5/SiO2)kで挟んだマイクロキャビティ構造を持ち，大きな磁気光学効果を示す．これまで，磁性ガーネット膜を結晶化させるためには，電気炉で750C，20分の熱処理が必要であった．しかし，この熱処理は誘電体ミラー中のTa2O5も結晶化させ，光散乱の原因となることが分かっている．この問題を解決することを目的とし，磁性ガーネット膜の選択的レーザー熱処理について調べた．

要約(英語): Magnetophotonic crystals have the microcavity structure: a magnetic garnet film is sandwiched between two Bragg mirrors and show large magneto-optical effect. They are generally formed by thermal treatments for crystallization of garnet by an electric furnace at 750C for 20 minutes. However, such thermal treatments form Ta2O5 crystallites in Bragg mirrors, which causes light scattering. To avoid this problem, selective annealing of garnet films with a laser was examined.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 5,619 Kバイト