［001］高配向L10FePtドットパターンの作製とその磁気特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG11040

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2011/08/03

タイトル(英語): Fabrication of L10FePt dot patterns with perpendicular magnetic anisotropy and their magnetic properties

著者名: 石尾 俊二(秋田大学),髙橋 信吾(秋田大学),長谷川 崇(秋田大学),佐々木 博美(秋田大学),荒川 明(秋田大学),有明 順(秋田県産業技術センター),山根 治起(秋田県産業技術センター),近藤 祐治(秋田県産業技術センター)

著者名(英語): Ishio Shunji(Akita University),Takahashi Shingo(Akita University),Hasegawa Takashi(Akita University),Sasaki Hiromi(Akita University),Arakawa Akira(Akita University),Ariake Jun(Akita Industrial Technology Center),Yamane Haruki(Akita Industrial Technology Center),Kondo Yuji(Akita Industrial Technology Center)

キーワード: Ｌ１０　ＦｅＰｔ|ドットパターン|保磁力|磁気力顕微鏡|L10 FePt|dot pattern|coercivity|magnetic force microscopy

要約(日本語): 酸化物添加急速加熱法を用いて［001］高配向・L10規則化FePt薄膜を作製し、電子ビームリソグラフィーを含む微細加工により、直径15nm~100nmドット間ピッチ30nm~100nmのドットパターンを作製した。磁化特性は放射光を用いたμ-XMCD、磁気力顕微鏡等を用いて測定した。パターンの保磁力は作製プロセスに大きく依存するが、最大値は直径30nmのドットで観察され約3Tであった。ドット中に残留した軟磁性欠陥と磁化反転プロセスの関係について議論する。

要約(英語): L10 FePt films with strong perpendicular magnetic anisotropy were prepared by oxide-addition/RTA process, and dot patterns with 15~100 nm diameter were fabricated successively. Magnetic properties were studied by -XMCD and magnetic force microscopy. The magnetization reversal will be discussed by taking account of soft magnetic phase remaining in dots.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,604 Kバイト