サブマイクロメータ領域の構造と光情報を測定するための近接場光学顕微鏡の開発と評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG11043

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2011/08/04

タイトル(英語): Development and evaluation of scanning near-field optical microscope to measure structural and optical information in sub-micrometer area

著者名: 内田 裕久(東北工業大学),佐竹 義彦(東北工業大学),片山 博司(片山電子),坂上 辰夫(片山電子),鈴木 康哲(アルファプロジェクト),松浦 真樹(アルファプロジェクト),堀内 博之(アルファプロジェクト),井上 光輝(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Uchida Hironaga(Tohoku Institute of Technology),Satake Yoshihiko(Tohoku Institute of Technology),Katayama Hiroshi(Katayama Electronics),Sakaue Tatsuo(Katayama Electronics),Suzuki Yasunori(Alpha Project),Matsuura Masaki(Alpha Project),Horiuchi Hiroyuki(Alpha Project),Inoue Mitsuteru(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 近接場光学顕微鏡|光強度像|光ファイバープローブ|柱状構造|反射－集光モード|反射－照射モード|scanning near-field optical microscope|light intensity image|optical fiber probe|columnar structure|reflection-collection mode|reflection-illumination mode

要約(日本語): 構造と光学的な情報を得ることができる近接場光学顕微鏡を開発した．この装置では，試料周辺がオープンになっており，光導入と光検出センサを様々位置に配置することができる．本装置によって Niの周期的な柱状構造の形状の像を観察し，そして光強度像を100nmほどの分解能で得ることができた．研究のために使用する性能を持つことが明らかになった．

要約(英語): A scanning near-field optical microscope (SNOM) was developed to obtain structural and optical information. It has wide open space around a sample stage for introduction and detection of light. The SNOM provides good performance because topographic and light intensity images were observed with a resolution of about 100 nm for the periodic columnar structure.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 5,169 Kバイト