TMR型磁気センサGIGSのMR特性におよぼすグラニュラー薄膜組成の影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG11055

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2011/09/19

タイトル(英語): Relationship between magneto-resistive response in TMR magnetic sensor and chemical composition of granular thin films

著者名: 直江 正幸(電磁材料研究所),小林 伸聖(電磁材料研究所),金田 安司(電磁材料研究所),白川 究(電磁材料研究所),荒井 賢一(電磁材料研究所),増本 健(電磁材料研究所),小山 恵史(大同特殊鋼),長田 誠一(大同特殊鋼)

著者名(英語): Naoe Masayuki(Research Institute for Electromagnetic Materials),Kobayashi Nobukiyo(Research Institute for Electromagnetic Materials),Kaneta Yasushi(Research Institute for Electromagnetic Materials),Shirakawa Kiwamu(Research Institute for Electromagnetic Materials),Arai Ken Ichi (Research Institute for Electromagnetic Materials),Masumoto Tsuyoshi(Research Institute for Electromagnetic Materials),Koayama Shigenobu(Daido Steel Co.,Ltd.),Nagata Seiichi(Daido Steel Co.,Ltd.)

要約(日本語): ナノグラニュラーTMR膜を用いた磁気センサGIGSにおいて，内部応力や非結晶性緩和のために熱処理を施して安定性の向上を図るが，この際に特性が変化する．これは主に，TMR膜のグラニュールの粒径が変化するためであると考えられる．本研究では，TMR膜組成の変化に伴ってこの熱処理挙動が異なることを明らかにし，この事実が上記の粒径変化のTMR膜組成依存性であると考え，定性的に評価した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 11,283 Kバイト