コプレーナ線路を用いた伝送線路型薄膜磁界センサの高感度化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG11095

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2011/11/24

タイトル(英語): Highly sensitive thin film sensor using coplanar line

著者名: 薮上 信(東北学院大学),中野 弘道(東北学院大学),小島 健(東北学院大学),佐藤 弘二(東北学院大学),小澤 哲也(東北学院大学),小林 伸聖(電気磁気材料研究所),中居 倫夫(宮城県産業技術総合センター),荒井 賢一(電気磁気材料研究所)

著者名(英語): Yabukami Shin(Tohoku-Gakuin University),Nakano Hiromichi(Tohoku-Gakuin University),Kojima Ken(Tohoku-Gakuin University),Sato Kouji(Tohoku-Gakuin University),Ozawa Tetsuya(Tohoku-Gakuin University),Kobayashi Nobukiyo(Research Institute for Electric and Magnetic Materials),Nakai Tomoo(Industrial Technology Institute Miyagi Prefectural Government),Arai Ken Ichi (Research Institute for Electric and Magnetic Materials)

キーワード: 伝送線路|薄膜磁界センサ|プレーナ線路|transmission line|thin film sensor|coplanar line

要約(日本語): コプレーナ線路と磁性薄膜を組み合わせた集積化薄膜磁界センサを試作し、位相計測型センサの高感度化をはかった。2個のほぼ同特性の集積化センサ素子を差動化し、SN比を向上させた。

要約(英語): We have developed a transmission line type thin film sensor. Two sensors are arranged differentially and reduce the noise of the sensors.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,916 Kバイト